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截面离子抛光仪
截面离子抛光仪
型号:IB-09020CP
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简称:CP
厂商:日本电子株式会社
所在单位:哈尔滨工业大学   单位简介
联系方式:郭舒 0451-86414867、86418617
  仪器介绍

  主要性能指标:

  离子束加速电压:2~6kV

  束斑尺寸:500μm(半峰值)

  研磨速度:100 μm / 1 hour(加速电压6kV,样品为Si时)

  样品最大尺寸: 11 mm(W)×10 mm(L)×2 mm(T) 标配

  样品移动范围:X轴±10mm,Y轴±3mm

  样品倾斜角:±5℃

  触摸屏控制,切割过程随时观察

设备链接:http://cam.hit.edu.cn
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