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X射线光电子能谱仪
X射线光电子能谱仪
型号:ESCALAB 250Xi
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简称:XPS
厂商:美国ThermoFisher Scientific
所在单位:扬州大学测试中心   单位简介
  仪器介绍

  主要技术指标:最佳空间分辨率:≤3μm; 最佳能量分辨率:≤0.45ev。

空间分辨率(μm) 能量分辨率(ev) 灵敏度(cps)
大面积 ≤0.50 400,000
≤0.60 1,000,000
≤1.0 2,500,000
300 ≤0.50 160,000
150 ≤0.50 90,000
20 ≤0.50 500

  仪器功能:

  (1)固体样品的表面成分分析、化学态分析,取样深度约为1-10nm;

  (2)材料中元素的深度分析,角分辨方式,氩离子与氩团簇离子刻蚀方式;

  (3)可进行样品的原位处理,如原位加热、冷却、断裂。

  仪器附件:离子散射谱(ISS),反射电子能量损失谱(REELS),单色化XPS(Al靶),

  双阳极(Mg/Al靶),氩离子团簇离子枪,加热/冷却台,样品断裂台。

  应用范围:纳米薄膜材料,催化剂,微电子材料,高分子材料,生物材料,金属材料,半导体材料,无机非金属材料等。

  联系人:周老师

  联系电话:0514-87979383-307(办)、309(仪器室)

设备链接:http://cszx.yzu.edu.cn/art/2013/12/28/art_31367_432779.html
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